您的瀏覽器不支援JavaScript功能,若網頁功能無法正常使用時,請開啟瀏覽器JavaScript狀態 跳到主要內容區
:::

降低室內壓差設定值

2017/12/8 上午 09:56:48
案例名稱

降低室內壓差設定值

行業別

電子電機業

設備別

空調系統

現況說明

MAU送風車馬達為125kW,送風量為128,500CMH,分成3區,每區為6台其中有1台為備用機,變頻器平均頻率為40Hz。假設風機於MAU之固定損失為20%。線對空氣效率損失(wire to air efficiency,風車、馬達及變頻器總合之效率)考慮在降頻後損失增加5%。
單區單台用電125kW × (40 / 60)× 1.05 = 38.9kW/台/區
單區單台變動損失用電= 38.9 × 0.8 = 31.12kW/台/區
單區總固定損失用電= 38.9 × 5 × 0.2 = 38.9kW/區
單區總用電=單台變動損失用電×5台+單區總固定損失用電= 38.9kW + 31.12kW × 5 = 194.5kW/區(每台平均運轉8,000小時。)
目前無塵室正壓值約為45Pa降低正壓在30Pa以上,應尚可維持Fab在正壓條件以上。
空調平均負荷率為75%。總供風量(100%)=排氣量(95%) + 洩漏量(5%)。 

改善措施

調低無塵室正壓設定值,降低MAU耗電
依據流孔公式,(其中K = 1 , C = 0.65 , ρ = 1.2kg/m3),在相同的等量洩漏面積下(排氣及夾層洩漏等),若降低無塵室正壓至30Pa,則亦即可降低約18% × 5%(外氣量) = 0.9%外氣量。

依據風車定律風車動力為轉速成3次方正比,頻率與轉速成正比,但實用情況下另需考慮馬達及變頻器效率,考慮降頻後線對空氣效率(wire to air efficiency)損失增加5%。
MAU用電變為31.12 × (99.1 / 100)× 1.05 = 30.3kW/台
單區MAU總用電為38.9kW + 30.3kW × 5台 = 190.4kW/區
估算降低正壓後之MAU運轉頻率40 × (99.1 / 100) = 39.64Hz

外氣條件:32℃,80RH,焓值94.5kJ/kg,供風條件:20℃,49RH,焓值38.3kJ/kg
假設外氣空調箱處理外氣空調負荷,處理1CMH所需之空調為=風量 × 密度 × 焓差= 1CMH × 1.2kg/cm× (94.5-38.3) ÷ 3.516kW/t = 0.005t/CMH,假設空調總耗能為0.9kW/t,則處理1CMH空調設備所需用電為0.0045kW/CMH。

調降壓差後降低0.9%外氣風量,可降低外氣空調負荷0.9%。
節省空調負荷用電= 0.0045kW/CMH × 128,500CMH × (40 / 60) × 0.9% × 5(台) × 3(區) × 0.75 = 39kW
總約用電量= (194.5kW-190.4kW) × 3區 + 39kW = 51.3kW 

預計效益

節約電力需量(kW)= 51.3kW
節約用電量(kWh)= 51.3kW × 8,000hr = 410,400kWh/年
節約電費= 410,400kWh × 1.6元/kWh = 656,640元/年 

注意事項

行潔淨室正壓設定值調降時必須謹慎尤其不可一次調整過快,不同機台設定值會依據室內正壓來作調整之參考,不預警的調降潔淨室正壓可能會造成機台的參數飄移,且造成部份區域造成負壓,易受到外界汙染,故調整正壓時應由廠務工廠師及設備工程師共同配合來調降正壓。 


回列表
到頂端