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調降潔淨室正壓與潔淨等級

2017/12/6 下午 03:34:59
案例名稱

調降潔淨室正壓與潔淨等級

行業別

電子電機業

設備別

空調系統

現況說明

潔淨室的潔淨度要求依不同生產類別而有所差異,然而大部分潔淨室應都操作過大的正壓狀態。此外,面板製程並不需要像半導體廠一樣的嚴格要求。因此,藉由研究潔淨度的調降(例如可調降FFU的覆蓋率和FFU的轉速),進而達到節省電力的支出。

改善措施

建議進行FFU轉速最佳化調整(覆蓋率調降、FFU轉速調降、潔淨度變更),執行程序如下:

  1. 廠務、工程、製造、整合及IPQC會同確認FFU調整範圍及幅度
  2. 調整前區域Particle、溫溼度及FFU風速量測並紀錄 (以區域大小每4Block各量測1點,由廠務會同IPQC一起檢測/使用IPQC之Particle count)
  3. 調整程序

3.1人員於SCADA核對FFU編號與圖面是否一致

3.2將該區FFU轉速逐台調降至所需轉速

3.3待FFU轉速變更後,再次確認轉速是否符合

  1. 該區操作完成後,進行Particle、溫溼度及風速檢測 (由廠務會同IPQC一起檢測)
  2. 該區操作完成後4HR,再進行一次檢測 (由廠務會同IPQC一起檢測)
  3. 量測之數據請IPQC統一彙整後,寄出給相關單位參考
  4. 整合監測產品情況及良率,並回報給相關單位參考
  5. 某案例經過評估後各區域約可再調降FFU耗電量如下表所示,調整前總耗電量為7171kW,預估可降為6242kW,共計節約929kW。

區域

覆蓋率調降(kW)

轉速調降(kW)

潔淨度變更(kW)

單區加總

AOO製程區

75

262

37

375

COO製程區

19

66

9

94

COO製程區

34

118

17

168

MOO製程區

9

32

5

45

SOO製程區

49

173

25

247

加總

186

651

93

929

預計效益

  1. 預期改善效益:

一年可節省電力=929kW × 24hr × 365天/年=8,138,040 kWh/年

一年可節省電費=8,138,040 kWh/年×2.2 NT/kWh=17,903,688元/年
 

  1. 減碳效益:

推估改善後每年可減少溫室氣體排放約11,386公噸CO2e:

8,138,040 kWh/年×0.636 kg CO2e/kWh ÷ 1,000 = 11,386公噸CO2e/年
 

  1. 投資費用及回收年限

投資費用:並不需要額外增加任何投資,潔淨度變更後產品良率仍維持不變,即達到最大節能效益。

回收年限:可立即回收

注意事項

不同潔淨室與製程之使用狀況不同,應同時監測潔淨度與調整動作,逐步調整至最適合之狀況。


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