調降潔淨室正壓與潔淨等級

案例名稱

調降潔淨室正壓與潔淨等級

行業別

電子電機業

設備別

空調系統

現況說明

潔淨室的潔淨度要求依不同生產類別而有所差異，然而大部分潔淨室應都操作過大的正壓狀態。此外，面板製程並不需要像半導體廠一樣的嚴格要求。因此，藉由研究潔淨度的調降(例如可調降FFU的覆蓋率和FFU的轉速)，進而達到節省電力的支出。

改善措施

建議進行FFU轉速最佳化調整(覆蓋率調降、FFU轉速調降、潔淨度變更)，執行程序如下：

1.廠務、工程、製造、整合及IPQC會同確認FFU調整範圍及幅度

2.調整前區域Particle、溫溼度及FFU風速量測並紀錄(以區域大小每4Block各量測1點，由廠務會同IPQC一起檢測/使用IPQC之Particle count)

3.調整程序

3.1人員於SCADA核對FFU編號與圖面是否一致

3.2將該區FFU轉速逐台調降至所需轉速

3.3待FFU轉速變更後，再次確認轉速是否符合

4.該區操作完成後，進行Particle、溫溼度及風速檢測 (由廠務會同IPQC一起檢測)

5.該區操作完成後4hr，再進行一次檢測 (由廠務會同IPQC一起檢測)

6.量測之數據請IPQC統一彙整後，寄出給相關單位參考

7.整合監測產品情況及良率，並回報給相關單位參考

8.某案例經過評估後各區域約可再調降FFU耗電量如下表所示，調整前總耗電量為7,171kW，預估可降為6,242kW，共計節約929kW。

預計效益

1.預期改善效益：

一年可節省電力＝ 929kW × 24hr × 365天/年＝ 8,138,040kWh/年

一年可節省電費＝ 8,138,040kWh/年 × 2.2NT/kWh ＝ 17,903,688元/年

2.減碳效益：

推估改善後每年可減少溫室氣體排放約5,176公噸CO₂e：

8,138,040kWh/年 × 0.636kgCO₂e/kWh ÷ 1,000 ＝ 5,176公噸CO₂e/年

3.投資費用及回收年限：

投資費用：不需要額外增加任何投資，潔淨度變更後產品良率仍維持不變，即達到最大節能效益

回收年限：可立即回收

注意事項

不同潔淨室與製程之使用狀況不同，應同時監測潔淨度與調整動作，逐步調整至最適合之狀況。