摘要 台灣無塵室的數量越來越龐大，而在各個產業的使用上也越來越廣泛。其中，以半導體相關無塵室所佔的比重最多，超過了一半以上。改善無塵室的耗能，不但可節省能源，亦可節省成本，進而提高產品競爭力。本手冊首先將介紹無塵室的基本概念，然後是說明無塵室的耗能狀況與耗能原因。接下來將提出無塵室的各項節能措施，最後再附上無塵室節能的實際案例。 全文下載